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SEMI F47-0706
 
        SEMI 是 Semiconductor Equipment Materials International 的简称,这是一个服务据点遍布全球,
且拥有2,000个以上会员的世界性贸易组织,SEMI 针对半导体制程相关设备,制定了对于供电系统,
电压瞬降应变能力之规范 --- SEMI SEMI F47-0706,供半导体设备制造商遵守。

何谓 SEMI F47 --电压瞬降测试:
        电压瞬降通常是指:负载端电压值降到额定电压值的90%以下,并持续 0.5~60 cycles,在对于
电力供应品质要求甚高的晶圆相关产业,一旦发生电压瞬降,不仅敏感的微电脑自动控制设备造成
不可预期的伤害,也会使得制程中断,而产生极大的损失,为了能保护您敏感的设备能够免于电压
瞬降的危害,对电力供应之可靠度与电源品质有较严格的要求,在 SEMI F47-0706 中规定半导体制
程设备对电压瞬降的耐受时间在电压为50%标称值时为0.2秒、电压为70%标称值时为0.5秒、
电压为80%标称值时为1秒,相较F47-0200增加推荐的电压瞬降的耐受时间,在电压为0%标称值时
为1周,电压为80%标称值时为600周。

SEMI F47 --电压瞬降测试特性曲线图(以 50Hz 为例):

SEMI F47 --电压瞬降测试要求:
Voltage Sag Duration of Voltage Sag
Percent of
Equipment Nominal Voltage
Seconds(s) milli-Seconds(ms) Cycles at 60 Hz Cycles at 50 Hz
50% 0.2s 200ms 12 cycles 10 cycles
70% 0.5s 500ms 30 cycles 25 cycles
80% 1.0s 1000ms 60 cycles 50 cycles
 
SEMI F47 --电压瞬降测试建议:
Voltage Sag Duration of Voltage Sag
Percent of
Equipment Nominal Voltage
Cycles at 60 Hz Cycles at 50 Hz
0% 1 cycles 1 cycles
80% 600 cycles 500 cycles

 

SEMI F47 目的:

减少或消除用电池储存装置,来达到电压突波消除的方法。

即使电源系统完全故障,安全连动系统也可以动作。

产品
我们拥有强大的技术团队以及多样、实用的产品,协助您解决在  IEEE、IEC 以及 SEMI F47 标准适应性的问题。
 

AC Power Source:

帮助您避免发生电源瞬降的情况,提供您的晶圆设备绝佳的稳定电源 ,
符合 SEMI F47-0706 的要求
当您的设备并未符合对于 SEMI F47-0706 的要求,本公司的 AC Power Source
 能帮您解决问题 !!
 

Voltage Sag Simulator:

模拟测试您的设备对于 F47 的适应性,避免因为电源瞬降而造成不可预期
的损失,提升您产品的性能。

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